项目
单位
主要参数
真空室尺寸
横向 X
mm
1300
纵向 Y
3600
垂直 Z
1500
工作行程
横向X
1700
垂直Z
670
最大束流
mA
100
束流精度
±0.1
束流偏转角度
°
±7°
工作真空度
Pa
5×10-2
移动速度
mm/s
0.1~40
服务热线
18516235155
微信服务号
